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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：NAPSON納普森非接觸式全自動分選系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：NC-2000FLA
產(chǎn)品廠商：NAPSON納普森
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

NC-2000FLA 用于非接觸式（渦流法、電容法）電阻率和平整度測量的全自動分選系統(tǒng)

詳情介紹：

產(chǎn)品特性和功能

多點多點測量

非接觸式非接觸式

電腦和軟件

全自動全自動型

電阻率、平坦度（厚度）和PN判斷均為全自動非接觸式測量。

電阻率采用渦流法，平坦度采用電容法。
適用于硅晶圓、GaP 和 InP 等化合物半導體的生產(chǎn)控制
具有溫度補償功能的溫度計（硅片）
磁帶的數(shù)量可以根據(jù)您的要求而多

測量規(guī)格

測量目標

半導體和太陽能電池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）
化合物半導體（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）

目標大小

3~8寸

測量范圍

[電阻率] 1m~200Ω·cm （*所有探頭類型的總量程/厚度500um）
[片狀電阻] 10m~3kΩ/s （*所有探頭類型的總量程）
[厚度] 150~1,200μm

*每種探頭類型的測量范圍請參考以下內(nèi)容。
（1）低：0.01~0.5Ω/□（0.001~0.05Ω·cm）
（2）中：0.5~10Ω/□（0.05~0.5Ω·cm）
（3）高：10~1,000Ω/□（0.5~60Ω·cm）
（4）S-高：1,000~3,000Ω/ □（60~200Ω·cm）

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京公網(wǎng)安備 11030102010384號

產(chǎn)品名稱：NAPSON納普森非接觸式全自動分選系統(tǒng)

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