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日本進(jìn)口大塚的橢圓偏光測量儀FE-5000S（PXM28）

日期：2026-03-03 20:16

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摘要：使用環(huán)境設(shè)置場所：屋內(nèi)設(shè)置（避免太陽光直射）周圍環(huán)境：無傾斜，異常震動，灰塵，有害氣體，溫度變動，電源變動，磁場噪音，不會接觸液體，沒有起火物質(zhì)。高度界限：標(biāo)準(zhǔn)高度2000m 周圍溫度：20-30℃（無劇烈的溫度變化）相對濕度：30-80%（無結(jié)露）噪音：60dB以下（距離設(shè)備測量1m的距離測量）

日本進(jìn)口大塚的橢圓偏光量測儀FE-5000S（PXM28）

顯微分光膜厚儀

對應(yīng)多種膜的解析計算方法

● *小二乘法
通過優(yōu)良反射率測量和薄膜模擬的fitting，可解析目標(biāo)膜的膜厚和
光學(xué)常數(shù)（n:折射率，k:消光系數(shù)）。
也可對應(yīng)層疊結(jié)構(gòu)

● *適合法
在設(shè)定的膜厚范圍內(nèi)，進(jìn)行薄膜模擬，可自動演算光譜形狀*高
膜厚值的手法。可對應(yīng)多層level的層疊結(jié)構(gòu)。

● 周期解析（FFT法）
通過傅里葉變換計算光干涉的光譜波形的周期性，可自動演算膜厚的
膜厚值。即便沒有基板信息，也可解析，此外，還能對應(yīng)多層level
的層疊結(jié)構(gòu)

● P（V 峰谷法）
以光干涉法為原理的解析手法。通過輸入單層膜的折射率，即便沒
基板信息，可以自動演算膜厚值。
可在測量的反射率的峰值（谷值）在2個以上時使用。

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