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      產(chǎn)品詳情
      • 產(chǎn)品名稱:Kashiyama樫山工業(yè) 干式真空泵

      • 產(chǎn)品型號:SDL20E50
      • 產(chǎn)品廠商:Kashiyama樫山工業(yè)
      • 產(chǎn)品文檔:
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      簡單介紹:
      Kashiyama樫山工業(yè) 干式真空泵 SDL20E50,北崎有售,歡迎咨詢。
      詳情介紹:

      Kashiyama樫山工業(yè) 干式真空泵 SDL20E50

      Kashiyama樫山工業(yè) 干式真空泵 SDL20E50



      SDL 系列

      與大直徑晶圓和 FPD 牢固兼容通過組合可實(shí)現(xiàn)大位移。 我們還可以響應(yīng) 150,000 L/min 或更高的請求。 通過高速排氣縮短節(jié)拍時間 通過確保大氣排氣速度,通過高速排氣縮短大型負(fù)載鎖室的節(jié)拍時間。

      還提供溶劑排氣規(guī)格,因此請聯(lián)系我們

      主型號

      規(guī)格/型號 SDL12E50 SDL20E50 SDL36E60 SDL3600
      *大抽速 [L/min] *1 25,000 40,000 60,000 60,000
      干泵*大抽速 [L/min] *1 8,000 8,000 10,000 12,500
      極限壓力 [Pa] *1 0.8
      電源電壓 (50/60Hz) 三相 AC200~220V, 380~440V
      外部尺寸 [mm] 長×寬×高 1000×520×1050 元 票價(jià):1370×850×1295 1370×600×1295 元
      重量 [kg] 645 800 920 950

      *1. N2這是不使用**時的值。
      *請聯(lián)系我們以獲取有關(guān)海外標(biāo)準(zhǔn)遵守的信息。 規(guī)格和型號名稱如有更改,恕不另行通知。
      *根據(jù)泵的配置,可提供其他類型。 請聯(lián)系我們的銷售團(tuán)隊(duì)了解詳情。

      排氣性能曲線

      排氣性能曲線




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