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      產品詳情
      • 產品名稱:Kashiyama樫山工業 干式真空泵

      • 產品型號:SDL36E60
      • 產品廠商:Kashiyama樫山工業
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      Kashiyama樫山工業 干式真空泵 SDL36E60,北崎有售,歡迎咨詢。
      詳情介紹:

      Kashiyama樫山工業 干式真空泵 SDL36E60

      Kashiyama樫山工業 干式真空泵 SDL36E60



      SDL 系列

      與大直徑晶圓和 FPD 牢固兼容通過組合可實現大位移。 我們還可以響應 150,000 L/min 或更高的請求。 通過高速排氣縮短節拍時間 通過確保大氣排氣速度,通過高速排氣縮短大型負載鎖室的節拍時間。

      還提供溶劑排氣規格,因此請聯系我們

      主型號

      規格/型號 SDL12E50 SDL20E50 SDL36E60 SDL3600
      *大抽速 [L/min] *1 25,000 40,000 60,000 60,000
      干泵*大抽速 [L/min] *1 8,000 8,000 10,000 12,500
      極限壓力 [Pa] *1 0.8
      電源電壓 (50/60Hz) 三相 AC200~220V, 380~440V
      外部尺寸 [mm] 長×寬×高 1000×520×1050 元 票價:1370×850×1295 1370×600×1295 元
      重量 [kg] 645 800 920 950

      *1. N2這是不使用**時的值。
      *請聯系我們以獲取有關海外標準遵守的信息。 規格和型號名稱如有更改,恕不另行通知。
      *根據泵的配置,可提供其他類型。 請聯系我們的銷售團隊了解詳情。

      排氣性能曲線

      排氣性能曲線




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